溅射靶材用无氧铜板
发布时间:2019-11-22点击:5208
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产品详细
溅射靶材用无氧铜板
我公司采用先进的铜铝压延加工设备,成熟的加工工艺,可为各种规格的铜铝靶材提供靶材(板靶及铜背板坯料。其广泛用于平面显示器镀膜、光伏/光热镀膜和建筑/汽车玻璃大面积镀膜等行业,被国内外靶材制造商广泛使用。
我公司生产的铜、铝靶材及背板坯料具有以下特点:
1.高纯度,铜材纯度可达到3N7以上,铝材可达到5N以上;
2.高致密度,材料经过大加工率的压力加工,使得成份与组织结构均匀;
3.晶粒尺寸细小分布均匀,且大小控制在50-200μm;
4.良好的板型平整度和尺寸公差.
表1:高纯铜TU3(C10200)化学成份(Chemical composition)
元素Elements | Cu+Ag | P | Bi | Sb | As | Fe | Ni | Pb | Sn | S | Zn | O |
含量(%)Contents | ≧ 99.97 | ≦ 0.0002 | ≦0.001 | ≦0.002 | ≦ 0.002 | ≦0.004 | ≦0.002 | ≦0.003 | ≦0.002 | ≦0.004 | ≦ 0.003 | ≦ 0.002 |
表2:铜板靶、铜背板所供产品规格(Product specifications)
品种 Type | 牌号 Alloys | 规格(mm)Dimension | 执行标准 Standard | ||
厚度Thickness | 宽度Width | 长度Length | |||
高纯铜板Copper plates | TU1(C10200) | >3.0~60 | 100~3000 | ≤6000 | 企业专用标准 或双方协商 |